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第352章 京城半导体研讨会（第2页）
“各位前辈，各位领导。”
林星石的声音不大，但很清晰，“刚才听了大家的分析，我很受触动。技术上的难点，各位比我更清楚。我想从应用端的角度，谈谈我的感受。”
他走到投影仪前，没有用PPT，而是拿起白板笔，在白板上画了一个三角形。
“在半导体产业里，有一个‘铁三角’关系：工艺、设备、设计。”
林星石指着三角形的三个顶点，“我在中芯国际这三个月，最大的感触就是，这三者是完全耦合在一起的。我们做22nm工艺研发，每一步参数的调整，都要看设备的脸色。”
“在中芯国际的无尘车间里，我每天看着那台ASML的光刻机，心里既爱又恨。”
林星石苦笑了一声，“爱它，是因为它确实精密，每一个动作都精准无误，把我们设计的几十亿个晶体管纹丝不差地印在晶圆上。恨它，是因为它太娇贵了，而且是‘别人的孩子’。”
“有一次，光刻机的一个对准传感器出了故障。我们整个团队停工停产，等着ASML的工程师从荷兰飞过来。人家来了之后，连图纸都不让我们看，换个零件用了半小时，收了我们几十万美金的工时费。这还是小事，关键是那种‘非请勿入’的傲慢，和我们只能在旁边干着急的无奈。”
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林星石的话，引起了在座不少人的共鸣。这种受制于人的滋味，搞了一辈子科研的他们尝得太多了。
“这就导致了一个死循环。”
林星石在白板上重重地画了一个圈，“没有先进的国产设备，我们的工艺研发就必须去适配国外的设备，我们的设计规则就必须遵循人家制定的标准。我们就永远是在别人的地基上盖房子。楼盖得再高，人家把地基一抽，我们就得塌。”
“而且，设备研发不是闭门造车。”
林星石加重了语气，“光刻机是造出来的，更是‘用’出来的。ASML为什么强？因为台积电、三星、英特尔天天在用他们的机器，反馈数据，提出改进意见，帮着他们一代代迭代。我们的国产光刻机，如果造出来没人敢用，没人愿意用，那它永远只能躺在实验室里吃灰。”
“所以，我的观点是：工艺、设备、设计，必须三位一体，同步攻关。”
林星石看着台下的张副部长，目光灼灼，“我们星火科技做芯片设计，中芯国际做制造工艺，现在缺的就是先进的国产装备。如果国家下定决心要搞，我林星石愿意当这个‘小白鼠’。只要国产光刻机能造出来，哪怕一开始性能差一点，良率低一点，我们也敢用，也愿意陪着一起调！”
“好！”
张副部长猛地拍了一下桌子，带头鼓起了掌，“说得好！就是要有这种‘敢用’的魄力！设备是用出来的，不是供出来的！”
掌声在会议室里回荡。
虽然技术上的阴霾依旧笼罩在大家心头，但林星石这番话，无疑是给这潭死水里投下了一颗石子。
而在掌声稍歇之后，林星石并没有坐下。
他的目光变得更加深邃，仿佛穿透了时光的迷雾，看到了那个并不遥远的未来。
“其实，关于光刻机的技术路线，尤其是光源和双工件台的问题……”林星石顿了顿，抛出了一个让所有人都意想不到的话题，“我觉得我们可能走进了一个误区。也许，我们不需要完全照抄ASML的老路。”
全场的目光瞬间聚焦在他身上。
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