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第353章 林星石的思路（第1页）
“不照抄ASML？”
张副部长眉头微微一皱，身体前倾，“林院士，这话怎么讲？ASML现在是绝对的霸主，他们的路线已经被证明是成功的。我们如果不走他们的路，难道要另起炉灶搞EUV（极紫外）？那个难度更大吧？”
“不，不是搞EUV，依然是DUV（深紫外），但我们要换一种思路。”
林星石转过身，手中的白板笔在刚才那个圆圈旁边，画了一个巨大的方框。
他的脑海中，此刻正疯狂运转。那些曾经通过黑客手段从ASML服务器深处挖掘出来的核心设计图纸，以及前世记忆中关于国产光刻机突围的种种细节，正在系统效果的辅助下，迅速整合、重组。
只有他自己知道，如果没有脑海中那个神秘系统的算力加持，光凭那些零散的数据，根本无法拼凑出一套完整的工程方案。但现在，一张清晰的蓝图已经在他脑中成型。
“各位前辈，ASML的光刻机为什么难造？”林星石自问自答，“因为它要求在一个有限的体积内，塞进几万个精密零件，还要保证它们在高速运动下互不干扰。这是一种极致的商业化设计，为了方便运输、方便在晶圆厂里安装。”
“但是，我们现在是在搞攻关，是在解决‘有无’的问题，而不是考虑‘好不好卖’的问题。”
林星石在那个方框里写下了几个大字：工厂即机器。
“如果我们将光刻机的体积限制放开呢？”
林星石的声音提高了几分，“如果我们不追求把它塞进一个集装箱，而是把整座厂房都当成一台光刻机呢？我们可以把光源系统放在一楼，把光路传输系统拉长到几十米，用空间换取稳定性和散热效率。我们可以把双工件台的控制柜做得像一面墙那么大，用冗余的算力和电力来弥补控制精度的不足。”
现场的专家们愣住了。
这种“傻大黑粗”的思路，完全违背了精密仪器“小型化、集成化”的常识。但仔细一想，在座的都是顶级专家，瞬间就意识到了其中的可行性。
“以空间换精度……”那位喜都光机所的院士喃喃自语，眼中闪过一丝精光，“如果光路拉长，透镜组的散热压力确实会减小，热变形好控制了……”
“不仅如此。”
林星石趁热打铁，开始抛出真正的干货。他知道，光靠“大”是忽悠不住这些专家的，必须要有核心技术的突破方案。
“关于浸没式光刻系统，也就是大家最头疼的液体介质问题。”
他在白板上画了一个复杂的流体模型。这是ASML最核心的机密之一，也是前世国产光刻机卡了很久的难点。
“我们都知道，193nm的紫外光在水中的折射率是1.44，等效波长可以缩短到134nm，从而大幅提升分辨率。但难点在于，工件台在高速移动时，水流会产生气泡，而且曝光后会有液体残留，这会导致严重的缺陷。”
“我的方案是，采用一种‘动态液膜限制’技术。”
林星石手中的笔飞快地舞动，画出了一组精妙的喷嘴结构，“我们在透镜和晶圆之间，构建一个微米级的液体‘微环境’。利用同轴喷嘴设计，内层喷水，外层回收，通过精确控制流速和压力差，形成一道稳定的‘水墙’。同时，在回收端引入超疏水涂层和负压吸附……”
随着他的讲解，一个个复杂的流体力学公式被写在白板上。
这些公式，是ASML当年花了几亿美金、挖了无数流体力学专家才摸索出来的真理。
在座的专家们越听越心惊。
他们原本以为林星石只是个懂工艺的企业家，没想到他对流体力学的理解竟然深到了这种程度。那个“动态液膜限制”模型，逻辑严密，数据详实，仿佛已经经过了成千上万次的仿真验证。
“妙啊！”
沪市微电子的老专家猛地一拍大腿，激动得站了起来，“这个负压吸附的设计简直是神来之笔！既解决了气泡问题，又保证了水的更新速度！林总，这是你想出来的？”
林星石谦虚地笑了笑：“是在中芯国际闲暇时，做的一些模拟仿真。当然，这只是理论，真正落地还需要各位专家去验证。”
他没敢说，这是“抄”来的作业。但他更清楚，光有图纸没用，必须要有人能把它造出来。
前世，国产光刻机之所以能成，除了国家意志的投入，还有一个关键因素——人才回流。ASML内部其实有很多华人工程师，后来都被某种方式“请”了回来，或者通过技术合作的方式获取了关键指点。
“除了技术，还有人。”
林星石看着大家热切的眼神，话锋一转，切入了本次发言的最后，也是最重要的一点。
“光刻机，不是单纯的物理学问题，也不是单纯的光学问题。它是一个超级复杂的系统工程。”
他擦掉了白板上的公式，写下了五个字：大兵团作战。
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“以前我们搞科研，习惯了各自为战。光机所搞镜头，电子所搞控制，高校搞理论。大家围墙高筑，数据不通，标准不一。等到最后要总装了，才发现接口对不上，公差不匹配。”
“这种‘小作坊’式的科研模式，搞搞单点技术还行，搞光刻机这种系统工程，必死无疑。”
林星石的语气变得异常严肃，“ASML只有几千人，但它的背后是整个西方的工业体系。蔡司给它磨镜片，Cymer给它做光源，整个产业链都在为它服务。”
“我们要想赢，就必须打破围墙！”
“我建议，由国家牵头，组建一个‘光刻机总指挥部’。把中科院各所、几大高校、相关企业的精锐力量全部抽调出来，集中办公，统一指挥，统一标准。就像当年搞‘两弹一星’一样，实行大兵团作战！”
“不管你是哪个所的，不管你是哪个大学的，进了这个门，就只有一个身份——光刻机攻关突击队队员！”
“用系统工程的思维，去拆解每一个指标。把整机拆成光源、照明、物镜、工件台、传输、控制六大系统，再细分成几千个子任务。每一个任务都立下军令状，谁行谁上，不行就换人！”
林星石的声音在会议室里回荡，带着一股让人热血沸腾的力量。
张副部长听得心潮澎湃。他从林星石的话里，听出了一种久违的、属于那个激情燃烧岁月的味道。
“系统工程……大兵团作战……”张副部长喃喃重复着这几个词，眼中的光芒越来越亮。
他看向林星石的目光，已经不仅仅是欣赏，更像是在看一位即将挂帅出征的将领。
“好一个大兵团作战！”
张副部长深吸一口气，环视四周，“同志们，林总的这个思路，我觉得可行！我们制度最大的优势是什么？就是集中力量办大事！既然西方能举全球之力造出一台机器，我们为什么不能举全国之力，造出属于我们自己的光刻机？”
会议室里的气氛，彻底被点燃了。
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