“谁都不许动设备。现在的配方在大方向上没有问题。”林星石走到控制台前,调出了EDA的仿真界面,“给我48小时。”
说完,他将自己关进了旁边的一间独立工作站,并挂上了“请勿打扰”的牌子。
这48小时,成为了中芯国际历史上最漫长的48小时。
工作站内,林星石并没有像别人想象的那样疯狂敲代码。他只是静静地坐在屏幕前,盯着那张放大了数亿倍的3D晶体管结构图。
在他的脑海中,系统的算力全开。
他仿佛缩小成了一个电子,在那迷宫般的晶体管沟道中穿行。他看到了源极,看到了漏极,看到了上方那道控制生死的“闸门”——栅极。
“漏电流……漏电流……”
林星石的思维触角延伸到每一个角落。他在模拟电流的流动,不是靠公式,而是靠直觉,一种建立在海量数据和绝对理性之上的直觉。
时间一分一秒过去。林星石的眼睛布满了血丝,但他依然在思考。
终于,在第46个小时,他的目光锁定在了晶体管边缘的一个不起眼的角落——浅沟槽隔离(STI)与有源区的交界处。
在微观视角下,由于应力效应,这里的晶格发生了极其微小的扭曲。
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这种扭曲在28nm时还可以忽略不计,但在22nm的尺度下,它变成了一条肉眼不可见的高速公路,让电子得以绕过栅极的控制,偷偷溜走。
“找到了。”林星石嘶哑着嗓子,嘴角勾起一抹疲惫的笑容。
他迅速在键盘上敲击,修改了OPC(光学邻近效应修正)的规则文件。他没有改变工艺配方,只是在掩膜版的图形上,在这个特定的角落,增加了一个微小的“耳朵”形状的补偿图形,用来抵消应力带来的晶格扭曲。
门打开了。
门外,张汝京、邱国华、周振,还有几十双眼睛齐刷刷地看过来。
“改掩膜版。”林星石递出一个U盘,声音虽然虚弱,却带着不容置疑的力量,“Layer34,坐标(X230,Y450)处增加应力补偿图形。立刻去光刻机上做在线修正或者快速制版。”
邱国华接过U盘,手有些颤抖。他看着林星石那张年轻却透着威严的脸,这一刻,他心中的所有怀疑都烟消云散,只剩下了盲目的信任。
“快!按林院士说的做!”
新的验证片在焦急的等待中流出。
这一次,当测试探针扎在晶圆上的那一刻,所有人的呼吸都停止了。
屏幕上的数据开始跳动。
漏电流:0.5nAμm。
标准值:1nAμm。
完美达标!不仅达标,甚至比国际巨头的同类指标还要优秀!
“成了!我们成了!”
一声撕心裂肺的欢呼声打破了实验室的寂静。平日里严肃刻板的老工程师们,此刻像孩子一样跳了起来,互相拥抱,有人甚至摘下眼镜偷偷抹眼泪。
邱国华看着屏幕上那条完美的IV曲线,久久不能言语。他转过身,看着坐在角落里闭目养神的林星石,深深地鞠了一躬。
“林院士。”邱国华的声音哽咽,“我服了。彻底服了。”
张汝京走过来,轻轻拍了拍林星石的肩膀,眼中满是激赏与感慨:“星石,你不仅救了这个项目,你给华夏半导体指了一条新路啊。”
林星石睁开眼,看着周围欢腾的人群,露出了一个淡淡的微笑。
窗外,东方的天际泛起了鱼肚白。
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