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第866章（第1页）
万千的目光再一次刷地射向了山上一郎。
但他毫不在乎。
一个天才的设计方案？就能把Arf193nm的波长变成134nm？
闹着玩呢这是？
台上，苏远山也在看着山上一郎，他知道这位老兄进尼康就在磨玻璃，对光源系统极为熟悉——反正苏远山在光学领域，在对方面前就是小学生级别。
但苏远山毫不在乎，也很能理解山上一郎为什么会在这种场合失态。
别说现在猛地听到远芯保密了三四年的技术，就算是历史上，当林本坚拿着详细的论证找上门的时候，尼康佳能都没正眼看人家一眼，并认为这家伙纯粹就是个疯子，让台积电好好管一管，找点药给他吃。
也就是ASML当时人小势微，虽然被intel拉着进了EUV联盟画了大饼，但在市场上，依旧不敌霓国人，必须弯道超车才能赢得了的样子……所以最终才选择了信任林本坚。
但苏远山也并没有回答山上一郎。
因为他看到，和山上一郎只隔着一个作为的李明柳已经看了过去。
“immersion。”李明柳身子前倾了一点，把自己暴露在了山上一郎的视线中，并给出了个英文单词。
“什么？”听到声音，山上一郎瞬间转头望向李明柳。
“immersion，浸润式光刻。”在远芯诸多技术大佬中，李明柳向来以严肃著称，常年执掌远芯第二大研发基地的他如今身上早就多了几分所谓的“威严”，凡事喜欢点到为止，不想说过多。
惜字如金的两句后，李明柳便恢复了坐姿。
台上，苏远山也只是一笑：“消息我是带到了，信不信那就……好吧，其实我是相信的。”
说完后，苏远山离开讲台，对台下微微鞠躬，然后退场。
直到这时，就如同一盆冰水上丢了一坨烧红的铁块，整个会场瞬间便沸腾了起来。
——和霓国人不一样，国内半导体行业对苏远山有着近似迷信一般的信赖，在先前短暂的懵懂状态后，此刻立刻陷入了兴奋和激动中，会场刹那间便变成了菜市场。
李明柳的声音说得并不大，靠后的与会人员并不能听清，但不妨碍他们挨个拍着前排的肩膀一路问下来。
在一片嘈杂中，山上一郎重新坐了下来。
他脑子慢慢恢复了清醒。
他理智上无法接受，但理智又告诉他，这……极有可能是真的。
因为苏远山，没有必要在这个时候这个场合来骗人。
——因为一旦被证实是假消息，那么非但是苏远山个人的声誉，宏芯的声誉，乃至整个内地半导体行业的声誉，都将受到毁灭性的倒塌。
浸润式光刻？
难道放水里？
疯了吧！
这时，苏远山的声音透过几个座位慢慢传来。
“通过在镜头与衬底之间加入于玻璃折射率接近的水，减小物镜射出的光折射角，从而提升物镜的孔径，提高分辨率。根据CD=K1*λNA，用水替代空气后，就相当于193nm波长等效缩短到134nm。”
“而且……它不需要重新研制光刻胶。”
苏远山看着在自己身旁围成一圈的众人，嘴角微微一翘。
“具体的技术和消息，还请大家关注宏芯的相关发布会。”
谷<span> ……
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